液封式真空泵+機械助力泵組合

简介

机械助力泵在中高真空范围具有大排气速度,但却不能将气体直接压缩排出于大气,而液封式真空泵能抽取真空直接排出于大气,但是在中高真空范围其效率却较低,因此将机械助力泵适当的与液封式真空泵做搭配组合,能大量增加排气速度并提高真空度。