單級旋片式真空泵+機械助力泵組合

简介

单级旋片式真空泵新机时单机最终真空度约10¯² Torr,但经使用一段时间后其最终真空度很难再达到新机时的性能,造成性能不符合实际的需求而浪费购置成本。如搭配机械助力泵组合运转则可完全解决以上问题,可将真空度提升到达10¯³ Torr,并能大量增加排气速度。