液封式真空幫浦+機械助力幫浦組合

簡介

機械助力幫浦在中高真空範圍具有大排氣速度,但卻不能將氣體直接壓縮排出於大氣,而液封式真空幫浦能抽取真空直接排出於大氣,但是在中高真空範圍其效率卻較低,因此將機械助力幫浦適當的與液封式真空幫浦做搭配組合,能大量增加排氣速度並提高真空度。