單級旋片式真空幫浦+機械助力幫浦組合

簡介

單級旋片式真空幫浦新機時單機最終真空度約10¯² Torr,但經使用一段時間後其最終真空度很難再達到新機時的性能,造成性能不符合實際的需求而浪費購置成本。如搭配機械助力幫浦組合運轉則可完全解決以上問題,可將真空度提昇到達10¯³ Torr,並能大量增加排氣速度。